產品服務
1、CMOS,分(fen)立(li)器(qi)件(jian),功(gong)率(lv)器件, GeSi和埋(mai)層等外延(yan)
2、外延片直(zhi)徑:76、100、125、150、200 mm
3、月(yue)生產能(neng)力10萬(wan)片以上(shang)(6英寸外延片)
4、10級潔(jie)淨(jing)廠房(fang)
5、外延爐:
LPE3061
LPE2061s
CSD EpiPro 5000
ASM Epsilon2000
Rexon 2
6、矽源(yuan):
三氯氫(qing)矽
二氯氫矽
矽烷
7、摻(can)雜源:
26
3
3
8、生(sheng)長模(mo)式:
常壓(ya)
減壓
9、客戶特定參數